高純氮氣的性質
發布時間:2019-06-13來源:洛陽華普高純氣體點擊:4057
高純氮氣從字面意思來看就是一種氣體,那么是什么樣的一種氣體呢?我們都不知道,因為我們并沒有體驗過看見過,所以今天我們高純氮氣小編就是給您介紹有關高純氮氣的一些事情,就是這種氣體的性質,所以,請跟我們高純氮氣小編一起來研究高純氮氣的性質。
性質:純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃,空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸點-195.8℃。熔點-209.9℃。氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學氣相淀積時的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。、
高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中,液氫加注系統必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。
純化方法:氮氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。